碳化硅的制备--《科技信息(学术研究)》年期摘要:碳化硅(SiC)是碳硅元素以共价健结合形成的具有金刚石结构的一种晶体物质,硬度高、耐高温、耐腐蚀、热导率高、宽带隙以及电子迁移率高,广泛应用于磨料、冶金。

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一种CVD法碳化硅涂层的制备方法与流程碳化硅涂层是一种常见的碳化硅制备方法,通过在目标基体的表面涂上薄层,利用碳化硅的耐磨性、耐腐蚀性以及抗氧化性,为各种缺少相应优异特性的目标基体提供有效的防护。。

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