高纯氮化硅制造设备

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新型回转法制备超细、高纯氮化硅粉体--《电子制作》年期摘要:采用自行设计加工的回转氮化设备,以硅粉、高纯氮气、稀释剂为原料,研究了稀释剂种类对回转法制备氮化硅粉体的影响。结果表明:在硅粉中添加α-氮化硅作为稀释。

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