多晶硅石墨底座处理

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多晶硅化学气相沉积方法和装置的制作方法室管支撑于一个底座上,优选石墨。室和底座在底和顶端被闭合,如可分别用管或壳在多晶硅的进一步处理之前可包于终产物里或被移走。加帽直立

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