多晶硅破碎锤
2018年7月27日 本实用新型属于单晶硅生产设备领域,特别涉及一种多晶硅破碎锤。 背景技术: 多晶硅作为半导体用的单晶硅晶片原料,需要将高纯度多晶硅利用坩埚熔化并用
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